光刻機是制造集成電路和半導體芯片的關(guān)鍵設(shè)備之一，其精度和穩(wěn)定性對于芯片的性能和可靠性具有決定性的影響。在光刻機使用時，黃光區(qū)是一個空氣管控的重要區(qū)域，潔凈度達到ISO Class2、ISO Class1級。
潔斐然微環(huán)境潔凈棚，適配潔斐然U17過濾器，適用于微電子半導體工業(yè)的光刻黃光區(qū)，多層凈化，為光刻品質(zhì)提供保護。圖為潔斐然為國內(nèi)某著名科技大學黃光區(qū)進行空氣凈化管控建設(shè)，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計，解決安裝空間緊湊有限的難題，且保障了維保便捷。
