
上海集成電路研發(fā)中心有限公司(ICRD)成立于2002年,是國家支持組建、產(chǎn)學(xué)研合作的集成電路研發(fā)中心。ICRD由中國集成電路相關(guān)企業(yè)集團(tuán)和高校聯(lián)合投資組建而成,是一個(gè)獨(dú)立的面向全行業(yè)集成電路企業(yè)、大學(xué)及研究所開放的公共研發(fā)機(jī)構(gòu)。
潔凈室常用的FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組是一種自帶動(dòng)力的送風(fēng)及過濾功效的模塊化裝置,英文全稱為:Fan Filter Unit,風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組從頂部將空氣吸和并經(jīng)HEPA過濾。潔斐然FFU機(jī)組廣泛應(yīng)用于無塵室,無塵操作臺(tái),無塵生產(chǎn)線,組裝式無塵室和局部百級(jí)潔凈室等應(yīng)用場合。